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纳米所加工平台和纳米加工平台在本质上都是用于微米/纳米级精度的加工制造的平台，主要差异在于名称和具体的应用侧重点上。
1、纳米加工平台：这是一个专门用于在纳米级别进行精密加工的平台，它依赖于先进的设备和技术，如电子束刻蚀、激光刻蚀、纳米压印等，以实现高精度、高可靠性的微观结构制造，这样的平台通常用于制造微电子器件、生物医学设备、光学器件以及其他需要高精度制造的应用。
2、纳米所加工平台：这可能是一个更广泛的概念，通常指的是一个研究所或者实验室中用于进行纳米级别加工的平台，这样的平台可能涵盖了各种设备和工具，包括但不限于纳米加工机床、精密测量设备、材料处理设备等，用于研究和开发新的纳米制造技术、材料以及应用。
两者都涉及到纳米级别的加工制造，只是侧重点和应用环境可能有所不同，具体使用哪个平台，需要根据实际的研究或制造需求来确定。